Bubbler_cylinder
バブラーシリンダ用ユニットの構成要素である金属有機化学蒸着（MOCVD）。これらは、電子グレードの有機金属化合物を液体または固体の前駆体から使用可能な蒸気に輸送するために使用されるデバイスです。
装置
バブラーの容器は、ガス洗浄ボトルの構造に似ており、空気（酸素、水分）を排除するための有機金属化合物の保護された保管に使用されます。バブラーには、供給パイプとサンプリングチューブがインレットチューブは、チューブの底の直前で終わります。このチューブには、不活性ガスが導入され、液体化学物質を泡立たせます。固体化学物質は昇華します。制御された不活性ガスの混合物気化した化学物質はシリンダーを出て下流の反応容器に入れます。温度はサーモスタットによって制御されるため、定義された一定の蒸気圧を実現できます。多くの場合高価で敏感な化学物質の供給は、不活性ガスの調整された流れとバブラーの温度によって制御され、化学物質の所定の蒸気圧をもたらします。
バブラーと反応器の間のチューブは、バブルよりも高い温度でなければなりません。そうでないと、前駆体がチューブ内で凝縮し、制御されていない液滴が反応容器に送られます。これが固体前駆体で発生した場合、ラインが詰まる可能性が
応用
たとえば、高輝度発光ダイオードの製造中に、ガリウムまたは他のIII-V族元素が単結晶シリコン基板上にエピタキシャル堆積されます。ガリウムは蒸気を介してMOVPEリアクターチャンバーに導入されます。この蒸気は、不活性キャリアガス（窒素やアルゴンなど）を、トリメチルガリウムなどの有機金属前駆体を介してディップチューブ付きのシリンダーにバブリングすることによって生成されます。次に、不活性キャリアガスと有機金属蒸気が、高輝度LEDの製造中にMOVPE（またはMOCVD）リアクターチャンバーに導入されます。
外部リンク
バブラーシステムの説明
マスフローコントローラーをベースにした液体噴射システム
このエレクトロニクス関連
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