HARMST

HARMST

 「HARMST」  
HARMSTは、高アスペクト比マイクロストラクチャ技術の頭字語であり、製造技術を説明し、高さが数十マイクロメートルから1センチメートルまで、アスペクト比が10：1を超える高アスペクト比の微細構造を作成するために使用されます。例としては、LIGA製造プロセス、高度なシリコンエッチング、深掘り反応性イオンエッチングなどが

も参照してください
リーガ
マイクロメカニカルシステム—高アスペクト比（HAR）マイクロマシニング

参考文献

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